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系统设备system device

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  • GIGAS- 40K2022-05-17

    机台型号:GIGAS- 40K
    设定主要功能:
    其他产业大风量
    4万CMH
    锅炉NOx
    取代RTO
    处理VOCs

  • GIGAS- 7K2022-05-17

    机台型号:GIGAS- 7K
    设定主要功能:
    芯片产业Central Scrubba
    应用剧毒ASH3,PH3
    易爆SiH4及应用环保
    提标100%完全处理

  • ANACONDA2022-05-17

    机台型号:ANACONDA。
    设定主要功能:自燃吸附复合式(半导体版)
    代表生物:森蟒
    说明:CVD制程,取代电热式及燃烧式,LED 制程,取代水洗加药式

  • ONCA2022-05-17

    机台型号:ONCA。
    设定主要功能:大流量吸附式(液体槽专用型)
    代表生物:美洲豹
    说明:处理大流量挥发气体,(VOCs , NOx黄烟, 酸气及NH3)

  • HANNAH2022-05-17

    机台型号:HANNAH。
    设定主要功能:触媒吸附复合式(半导体版)
    代表生物:眼镜王蛇
    说明:ETCH制程,取代电浆式及燃烧式

  • APODA-DC2022-05-17

    机台型号:APODA-DC。
    设定主要功能:纯吸附式(制式双桶柜)
    代表生物:天堂鸟
    说明:IMP制程,气瓶柜

  • APODA-SC2022-05-16

    机台型号:APODA-SC。
    设定主要功能:纯吸附式(制式单桶柜)
    代表生物:天堂鸟
    说明:IMP制程,气瓶柜,简配版型号为APODA-SCMA

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