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AP-2002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-200 : 氢化物气体(Ion Implant) (PH3,AsH3,GeH4,B2H6 ,ect., ) -
AP-3002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-300 : 氯化物气体( Acid Gases) (ClF3,HCl,BCl3,SiCl4,ect.,) -
AP-4002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-400 : 氮化物气体( Ntride Gases) (NH3,HCN, NF3 ect.,) -
AP-5002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-500 : 硅烷&氯硅烷&有机类气体 (SiH4,DCS,TCS, & TEOS, DEZ,PGMEA ,Dioxin,ect.) -
AP-6002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-600 : 高温型.(>550℃ ) (PFCs, Fluoride ,Chloride and Bromide)
(DCS,SiH4,WF6,HF,Cl2, SiCl4,ClF3,HBr,NF3, SF6, ) -
AP-8002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-800 : 氮氧化物气体特用型(黄烟) ( NO,NO2,NOx,SO2,ect.,) -
AP-9002022-05-16
吸附剂型号与对应处理气体:
AP-900 : 剧臭气体硫化物特用型 (H2S,SO2,ect.,)