机台型号:APODA-DC。
设定主要功能:纯吸附式(制式双桶柜)
代表生物:天堂鸟
说明:IMP制程,气瓶柜
功能特点:
Content | Specification | ||
Model | APODA-SC | APODA-DC | |
By-Pass Tank | Optional / 15 L | ||
Canister Capacity | 100 L / 150 L | ||
Power | AC、1Φ、208V 5A | ||
Operation Type | Automatic (PLC base TOUCH screen) or Manual | ||
Dimension (W* D* H, mm) | 950 x900x1850 | 1150x920x1850 | |
Maintenance Area (W* D* H, mm) | 1,500 * 1,600 * 2,200 | ||
Main Application Process | IMP , ETCH, SiH4, DEZ, and All Gases |
设备型号意义介绍:
APODA :
中文音 . 艾波达
天堂鸟---印度尼西亚雨林代表生物, 印度尼西亚国宝鸟, 另一名为极乐鸟