当今社会已进入以半导体技术为中心的信息时代。半导体技术是一国技术水平，工业水平和综合国力的体现，并受到世界各国的高度重视。但是，半导体生产会产生大量有毒有害气体，其中一些仍然是剧毒物质，在传统工业中很少使用。因此半导体尾气处理是一个重要的环节。这些有毒有害物质，例如车间内的浓度，将对操作人员造成极大伤害。如果不经有效处理将其排放到室外，将会造成空气污染。这违反了相关的国家政策。现在，该国提倡科学发展，经济增长不能以破坏环境，破坏资源和损害人民健康为代价。

半导体技术中常用的化学物质及其副产物通常基于其化学性质和不同的影响范围。它可以分为：易燃性气体；毒性气体；腐蚀性气体；温室效应气体。由于上述四种气体对环境或人体有害，半导体尾气处理必须引起重视，防止它们直接排放到大气中。

一般的半导体工厂都安装了大型的半导体尾气处理系统。但是，该系统仅使用水来洗涤废气。因此，其应用范围仅限于水溶性气体的处理。它不能应付迅速变化和细分的半导体工艺废气。因此，有必要根据每个过程中产生的气体特性来选择和匹配相应的半导体尾气处理设备，以有效地解决废气问题。

但是，由于工作区域大多远离中央废气处理系统，气体特性经常导致管道中的结晶或粉尘积聚，导致管道堵塞后气体泄漏，甚至引起爆炸，无法保证现场工人的安全。因此，有必要配置适合于工作区域中的处理气体的特性的小型半导体尾气处理设备，以减少残留在工作区域中的废气并确保人员安全。